物理學(xué)中，干涉是兩列或兩列以上的波在空間中相遇時(shí)發(fā)生疊加或抵消從而形成新的波形的現(xiàn)象。光也是一種波，在特定情形下，光也能發(fā)生干涉現(xiàn)象，在現(xiàn)代工業(yè)中常用于精密檢測(cè)——如雙遠(yuǎn)心鏡頭的鏡片檢測(cè)，激光干涉儀也被譽(yù)為“最精密的尺子”。

光的干涉，最早是1801年，由英國(guó)物理學(xué)家托馬斯楊(1773—1829)在實(shí)驗(yàn)室中觀測(cè)得到。這就是歷史上著名的雙縫干涉實(shí)驗(yàn)，這個(gè)實(shí)驗(yàn)成功證明了光具有波動(dòng)性，因?yàn)楣獾母缮娆F(xiàn)象是波動(dòng)獨(dú)有的特征，如果光真的是一種波，就必然會(huì)觀察到光的干涉現(xiàn)象。

光的干涉發(fā)現(xiàn)后，科學(xué)家們得出了一個(gè)結(jié)論，光是一種概率波，具有波粒二象性，即光具有粒子的特性，又具有電磁波的特性。之后德布羅意提出物質(zhì)波假說，認(rèn)為和光一樣，一切物質(zhì)都具有波粒二象性。

1887年邁克爾遜和莫雷使用了光研究以太是否存在。他們以光波長(zhǎng)作尺子刻度測(cè)量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他們利用的是光的干涉現(xiàn)象，這就是光學(xué)干涉儀的誕生。

在現(xiàn)代工藝中，人們常常利用光的干涉來解決現(xiàn)實(shí)中的多種復(fù)合的或者復(fù)雜問題。利用光的干涉原理可以在工程技術(shù)中處理大量問題，例如：它既可以測(cè)量光波的波長(zhǎng)、透明介質(zhì)的折射率又可以確定電磁波的發(fā)射源頭方位，并可以較為精確地測(cè)量工件的平整度以及薄膜的厚度，從而被廣泛應(yīng)用于鍍膜技術(shù)中。

在實(shí)際工藝當(dāng)中，科研人員們利用光的干涉來進(jìn)行精度測(cè)量。例如：檢定螺旋測(cè)微器（即千分尺）、精確測(cè)定光學(xué)部件的曲率半徑、檢測(cè)特殊精密零件以及測(cè)量微小楔角等。

以下是X射線干涉儀幾何示意圖，X射線干涉術(shù)是一種高精度的檢測(cè)技術(shù)，精度可以達(dá)到10弧度。

干涉技術(shù)能用來檢測(cè)鏡片面型，鏡片面型對(duì)于鏡頭來說很重要，特別是精度很高的雙遠(yuǎn)心鏡頭，對(duì)表面的平整度要求很高，肉眼很難看得出來，因此需要用到干涉的方法。

光虎視覺采用激光干涉儀對(duì)每個(gè)鏡頭的鏡片面型進(jìn)行檢測(cè)，可以得到鏡片的相關(guān)截面和粗糙度參數(shù)，并且不會(huì)對(duì)鏡片造成損害。這種方法，對(duì)每支雙遠(yuǎn)心鏡頭的質(zhì)量做出了保障。

干涉技術(shù)也能用來檢測(cè)鍍膜的厚度，鍍膜是在鏡片表面鍍上非常薄的透明薄膜，一般使用光學(xué)干涉測(cè)厚儀來檢測(cè)鍍膜的厚度。

鍍膜的厚度單位一般使用的是微米，其厚度非常小，傳統(tǒng)方法無法在不損害鏡片的前提下精準(zhǔn)測(cè)量，而鍍膜的厚度又對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著極其重要的影響，它能減少光的反射，增加透光率，抗紫外線并抑制耀光、鬼影。

光學(xué)干涉測(cè)厚儀的原理是等厚干涉，使用的是白光光源，發(fā)射一束白光至薄膜表面，通過檢測(cè)反射光的干涉條紋，即可測(cè)量出薄膜的厚度。

【來源：光虎光學(xué)內(nèi)部培訓(xùn)資料】